广州赛通科技有限公司是生产传感器的厂家。
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传感材料、MEMS 芯片、驱动程序和应用软件是智能传感器实现这些功能的核心技术,特别是 MEMS 芯片,由于其具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高并能与微处理器集成等特点,已成为智能传感器的重要载体。下面以常用的温度、压力、光学和RFID传感器为例,介绍基于MEMS的智能传感器技术进展。
① 智能温度传感器
智能温度传感器适用于冶金、石化、石油、化工、制药、造纸、印染、酿造、环保、电力等行业。当前的智能温度传感器正朝着高精度、多功能、总线标准化、高可靠性及安全性、开发虚拟传感器和网络传感器、研制单片测温系统等方向迅速发展。目前,国外已相继推出多种高精度、高分辨率的智能温度传感器,使用 9~12位A/D转换器,分辨率可以达到 0.5~0.625℃。由美国Dallas半导体公司新研制的DS1624型高分辨力智能温度传感器,能输出13位二进制数据,分辨率高达0.03℃,测温精度为±0.2℃。
② 智能压力传感器
基于 MEMS技术的智能压力传感器具有小型化、低成本、易集成等优点。压力的传感范围也很宽,在1kPa~100MPa 之间。可广泛应用于微型机电系统、汽车、航空动力学、工艺控制和生物医学等方面。当前智能压力传感器技术的研究热点致力于减轻其敏感性和线性之间的矛盾,以提高传感器精度[3]。美国柏恩Bourns研制的BPS140新型压力传感器性能稳定,在温度范围为-40°C至150°C之间使用时,总误差为2.5%FS,产品寿命变化为0.5%FS[4]。